シランカップリング剤 テトラエトキシシラン (TEOS) クロシル Si32 半導体産業
化学的性質
クロシルSi32シリケート テトラエチルオルトシリケート(TEOS)は、シリカ、シリコンオキシカーバイド、シラノール、シロキサンポリマー、二酸化物など、様々な用途のシリカ源として使用できる無機材料です。シリコン系材料のシリコーン薄膜の合成にも使用できます。エチルシリケートクロシルSi32は、ハイブリッド膜の合成やエアロゲルの製造にも使用できます。その他の用途としては、カーペットなどのコーティングがあります。
同等のタイプ
仕様
テスト項目 |
目標値 (仕様、制限) |
外観 |
無色透明リケット |
シリカ含有量 |
32% |
引火点 |
38℃ |
二酸化ケイ素含有量 |
96% |
屈折率 |
32% |