テトラエチルオルトシリケート - エアロゲルシリコン原料から電子特殊ガス材料まで

テトラエチルオルトシリケート エアロゲルシリコン原料から電子特殊ガス材料まで

ケイ酸エチル としても知られています テトラエチルシリケート そして テトラエトキシシラン 独特の臭気を持つ無色透明の液体。無水物の存在下では安定であり、水と反応するとエタノールとケイ酸に分解し、湿潤空気中では濁り、アルコールやエーテルなどの有機溶媒に溶解する。有毒であり、人間の目や呼吸器系に強い刺激を与える。四塩化ケイ素と無水エタノールの反応後、蒸留によって得られる。

耐熱性・耐薬品性コーティング剤や有機シリコン溶剤の製造に用いられる。また、有機合成、先端結晶製造のための基礎原料、光学ガラス処理剤、バインダー、電子産業における絶縁材料などにも使用できる。

オルトケイ酸エチル テトラエトキシシラン（TEOS）としても知られる化学式Si(OC2H5)4は、SiO2エアロゲルの製造に一般的に使用されるケイ素源であり、主に電気絶縁材料、コーティング、光学ガラス処理剤として使用されます。また、有機合成において耐薬品性コーティング、耐熱性コーティング、シリコーン溶剤、精密鋳造接着剤の製造にも使用されます。耐熱性コーティング、耐薬品性コーティング、有機合成中間体などとしても使用されます。

加えて、 電子グレードTEOS 化学気相成長プロセスにおいて二酸化ケイ素堆積膜を形成するために広く使用されており、半導体素子への汚染物質や不純物の侵入を遮断するとともに、導電層や絶縁層を形成したり、反射防止膜を形成して光吸収を改善したり、エッチングを一時的に遮断したりすることができます。